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HBM(HMM,MM)测试仪

ES612 HBM(HMM,MM)测试仪是一款2管脚测试仪,为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。

  • 产品型号:ES612
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2024-08-13
  • 访  问  量:1774
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详细介绍

1.说明

ES612 HBM(HMM,MM)测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,为数据分析提供可靠依据。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。

2.特点

  • 低寄生参数,具有高质量脉冲

  • 可定制,可扩展

  • 可搭配探针台进行晶圆级测试

  • 外置可选配的自动故障检测模块

  • 触摸控制面板

  • 可固件升级

  • 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件

  • 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能

3.ES612 HBM(HMM,MM)测试仪应用

  • 用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试

  • HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014

  • HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2009

  • MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2012

4.规格

ES612 控制主机

参数ES612-2KES612-8KES612-12KES612-20K单位
输出电压± 10 ~ 2000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
小输出电压步长1V (500V以内)


10V (2 kV以内)

1V (500V以内)


10V (8 kV以内)

1V (500V以内)


10V (12 kV以内)

1V (500V以内)


10V (20 kV以内)

V,


kV

输出电压精度± 1 % 或 ± 5 V%
尺寸347 X 300 X 145mm
重量5667kg
电压、电流测量电压、电流测量无源探头
支持的示波器Keysight, Tektronix,Lecory主流型号示波器
支持的SMUKeithley 24xx/26xx 系列

外置人体模型(HBM )波形发生模块

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