TLP传输线脉冲测试系统是一款便携式脉冲IV-曲线特性表征系统，用于模拟静电放电脉冲事件，例如TLP，vf-TLP，HMM，HBM，EFT和低压浪涌。系统会检测脉冲期间皮秒或纳秒级的瞬态电压和电流波形，并测试脉冲前、后被测器件的状态（漏电流，击穿电压，偏置电流，静态IV曲线等），可测的DUT包括静电防护器件，半导体，电路模块，触摸板传感器等。

产品型号：ES620
厂商性质：代理商
更新时间：2024-09-20
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详细介绍

系统的传输线脉冲(TLP)测试和分析功能符合ANSI/ESD STM5.5.1-2014测试标准。ES620系统能够向器件注入高质量矩形波脉冲，同时记录流经器件的电流和器件两端电压。测试结果能够提供脉冲式IV曲线，使用户能够表征器件在纳秒级的瞬态响应。系统还具有器件失效自动化检测方法，例如漏电流测试，静态IV曲线，熔断和火花放电。

超快TLP (vf-TLP) 测试和分析功能符合ANSI/ESD SP5.5.2-2007测试标准。vf-TLP测试用于模拟CDM速度的静电放电，捕捉高速（大约100ps上升沿）状态下器件的电流和电压。用户可以通过这种方法测试器件的响应速度和峰值电压。

人体金属模型(HMM) 测试和分析功能符合ANSI/ESD SP5. 6-2009测试方法，该方法可替代IEC61000-4-2中系统级ESD测试方法，用于测试IC。当测试低阻抗器件或者晶圆时，系统的该测试功能可以提供符合IEC61000-4-2标准的理想波形，并且避免许多静电放电枪测试时可能出现的问题，例如可重复性差，放电位置不对，由未屏蔽继电器产生的EMI互扰，需要设置大接地平板和耦合板。

系统有完整的软件控制，可定制上升沿时间和脉冲宽度，与IVI仪器有良好的兼容性，体积小。

TLP传输线脉冲测试系统特点：

配置灵活的TLP IV曲线脉冲测试分析系统

超便携设计

超快测试速度，程序并行处理

目前测试版本有25A，50A和100A模块

高质量TLP脉冲

可扩展的测试模块包括vf-TLP，HMM，HBM和低压浪涌

自动化故障检测方法包括：DC抽查 (电压或电流)，静态IV，熔融，击穿，偏置源波动以及客户自定义

软件控制的脉冲注入：单次，连续，IV-曲线表征

上升沿选项：60ps至 50ns(取决于模块)

脉冲宽度选项：1ns至3200ns(取决于模块)

TLP传输线脉冲测试系统应用：

晶圆级ESD测试

PCB/封装级ESD测试

系统/电路ESD测试

安全工作区 (SOA) 测试

充电恢复时间测试

差分ESD脉冲注入

触摸屏ITO微带线熔断测试

触摸屏ITO微带线火花放电测试

TLP注入电流脉冲符合并超过ANSI/ESD STM 5.5.1-2008标准

vf-TLP注入电流脉冲符合并超过ANSI/ESD SP5.5.2-2007标准

对于低阻抗器件，HMM的注入电流脉冲与IEC61000-4-2波形相符

规格：

ES620基于传输线脉冲的IV-曲线测试系统

参量	ES620-25	ES620-50	ES620-100	单位	备注
开路输出电压	±0.5~1250	±0.5~2500	±0.5~5000	V
50Ω负载时，输出电压	±0.25–625	±0.5~1250	±0.5~2500	V
50Ω负载时，小电压步长低电压–40V	0.01	0.01	0.02	V	带46dB反射抑制
50Ω负载时，小电压步长40V至高电压	0.1	0.1	0.2	V	带6dB反射抑制
输出电压误差	<5%			%	自校准后
短路输出电流	±0.01~25	±0.02~50	±0.04~100	A
50Ω负载时，输出电流	±0.005~12.5	±0.01~25	±0.02~50	A
50Ω负载时，峰值功率	≥7.813	≥31.25	≥125	kW
自带TLP上升沿时间	≤0.2	≤0.2	≤0.3	ns	ES620-25可达60ps
其他上升沿时间选项	0.06~50			ns	与模型有关，请看表2
自带TLP脉冲宽度	100±1			ns	自定义
其他脉宽选项	1~3200	5~1000	5~1000	ns	与模型有关，请看表3
测试间隔时间	一般为0.2~2			s	与示波器，SMU和规定有关
尺寸	347X300X145			mm
重量	5	6	8	kg
I&V直接测量	I&V直接测量探头A6213-T1 (CT-2电流探头和1KT型电压探头)
可配用示波器	Tektronix，Agilent，LeCroy，Rigol的大部分型号				其他型号可根据客户需求进行匹配支持
可配用SMU	Keithley 24xx/26xx系列SMU				其他型号可根据客户需求进行匹配支持

ES620-HMM1扩展的人体金属模型模块(DUT为短路，100ΩHMM，基于ANSI/ESD SP5.6-2009标准)

参数	ES620-25	ES620-50	ES620-100	单位	备注
HMM峰值电流	22.5	45	90	A	每千伏3.75A≤±10% IEC 61000-4-2 (R=330Ω，C=150pF)
30ns时的HMM 电流	12	24	48	A	≤±10% (优于IEC的±30% )
60ns时的HMM 电流	6	12	24	A	≤±10% (优于IEC的±30% )